一九九九年九月二十一日凌晨。台湾省南投县集集生七六级大地震，震源度十公里左右，重灾区在日月潭地区。

    该区有许多活断层，开始是双冬断层生活动，同时牵动相邻的车笼埔断层的大规模动，导致断层沿岸的丰原、南投等市县村镇地区的灾难破坏，大分地段被夷为平地。整个灾区死亡两千三百多人，伤近九千人，倒塌各建筑近万栋，严重破坏七千余栋，受灾人两百五十万，过台湾岛人的十分之一以上，灾民三十多万，财产损失近百亿元。

    一场撼天动天的大地震不仅摧毁了无数家，也改变了断层所经之的地貌。

    石岗大坝拦截大家溪，是台中县主要饮用源之一，地震中受断层作用北段三跨洪断塌，蓄功能全失，上游库底床地表。

    地震造成了无数栋房屋倒塌，有的房屋如沙丁鱼般推挤一团目不忍睹、有的如叠积木般、有的如推骨牌、有的塌倒在街上。

    许多路段被大量的土石覆盖，其中台湾山岳协会飞鹰登山队一支队伍在青山段山上被落土石活埋。共有十五名队员不幸遇难。

    地震前不久，大地现隆隆响，尚未来得及反应，便开始天摇地动，居民仓皇逃房舍，只见路旁建筑，如骨牌般一栋接连一栋倾倒而，场面目，实为惊人。

    台北也受影响，事前不久，曾短暂电约半分钟，上就复电，但随后又停电，接着就是一阵上摇晃，之后余震不断，而中国广播公司在震后不久便报导台北东兴大楼失火，当时北的民众都还尚未了解中的灾，只是猜测此次地震非同小可。

    五天之后，李登辉才布急命令，立法院于三天后追认通过，以减少行政上的程序，加救灾，不久各国救难队便抵达台湾协助救灾。

    各地救灾及募捐行动如火如荼的展开，但仍有人认为当局应变能力有待加，其中更生台湾地区领导人李登辉的直升机，在降落时不小心倒一棵树，压死一位小女孩的不幸事件。

    此次地震后。更也让台湾人了解到地震的威力，并开始思防震的重要，开始检讨建筑或其他地方的防震措施。

    在半导生产设备中，最密的是步式光刻机。大地震后，其位置错动，急需重新调整才能够使用，这直接就影响到半个多月的生产。

    大地震中，联华电等厂商的理炉的分石英破裂，也需要行全面更换，也造成了对生产的重大影响。

    但是由于新竹工业园区在地质构造上相对较为稳定，并且距台湾中震源区较远，9.21大地震对园区厂房和生产设备造成的危害较小，台积电公司厂房和设备基本未受损失。

    受影响较大的是台湾排名第三的半导生产厂华电公司，除石英破裂外，其分供供气的路叶生漏问题。但是总而言，在两周左右全半导厂商都恢复了全的生产能力。