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.三湛和童小芸对
生产。…的共都非常
兴趣,缠看见州愕巾她们去参观一
。
其实也没有什么好看的。不过你们既然想看,那就去一趟儿好了。”范无病经不住她们的纠缠。于是就答应了
来。
当然,去看刚的制造过程,同去看
大白菜是不同的,范无病提前跟厂里面打了招呼,让他们安排一个方便的时间。
在王荣昌这里呆了两天之后,范无病就带着粹琪和童小芸去了范氏的芯片制造基地,去参观比的制造过程。
范氏的芯片制造基地,前后总投资过了十亿
元,由五千名工人历时两年多建造完成。期间一共使用了三万吨钢材和差不多十万立方米的混凝土。铺设了一百多万米
的线缆和二十万米
的
。
这个制造基地的占地总面积约二十万平方米,相当于将近三十个标准足球场,其中一级无尘室面积达到了四万平方米。在这
大型无尘室里,每立方英尺空间
不小于零
五微米的尘埃数目不允许过一粒,比医院手术室还要
净一百倍。
为了保持无尘环境投
了很
成本,不过,并非所有的车间都需要这
无尘的环境。有趣的是,地面并非是我们平常所了解的
地板,而是采冉的一
类似于网状的设计,但是非常的
固,目的是保持空气的
通。房间的空气。每四分钟就要完全的更换一次。
经过了非常严格而繁琐的除尘以及其他环节之后,范无病和粹琪、童小芸在厂方工程师的陪同
。
了其中的一个无尘车间,在这里工作人员必须穿防尘服,免得让晶圆遭受污染。
他们远远地看过去的时候。就现远
的技术人员怀里抱着一
盒
走来走去,据工程师介绍,这
盒
一般,里面装的就是晶圆。那些技术人员要
的,就是把这个眺安装在一个机
或者是叫
理工
当中。
基于成本方面的考虑,只有姚
是在无尘房间中,而其他
分是在低于无尘等级的当中。
在工程师的提醒
,樟琪她们特意留意了一
刚才提到的”车间的地板,同时也注意到
理那些晶圆片的机
。也就是
理刚才技术人员抱着的弘。
整个工厂的无尘房间和机
数量是非常的可观的,因为制造一个刚晶圆片的工艺过程是非常的复杂的。
一个
“ 4刚要使用二十六
光刻掩
工序。每一个工序又需要很多的
理步骤,再加上搀杂以及金属镀层等,最后一个凹。制造工序就有上百
。
很多车间中需要使用紫外线照
。这是必不可少的,但是在无尘车间中通常要使用白光。而范无病他们刚参观的那个无尘车间使用的则是橙
光,这又与其他的无尘车间使用的不同,据工程师解释,这是因为这里是晶圆加工的初步工序。而原因是刚的某一层对白光非常
有
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